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技術(shù)文章

立式管式爐特點(diǎn)及使用注意事項

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立式管式爐特點(diǎn)及使用注意事項

立式管式爐的*設(shè)計能夠?qū)崿F(xiàn)在真空或氣氛保護(hù)條件下對樣品快速升降溫,四面加熱,溫場更均勻,立式結(jié)構(gòu)使得氣體排放更加順暢,爐體垂直安裝在可移動支架上有利于爐管取放溫度的均勻性,可以預(yù)抽真空并能通氫氣、氬氣、氮?dú)?、氧氣、氧化碳、氨分解氣等氣體,該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn),特別適合薄膜生長、電測試、氧化物晶體生長、快速退火等實(shí)驗(yàn)需要!

  設(shè)備采用鋼板工制作而成,表面采用靜電噴涂,外形美觀。工作室為剛玉管,加熱元件根據(jù)溫度需要配套(硅碳棒或硅鉬棒),保溫材料采用輕質(zhì)保溫保溫加的硅酸鋁耐火纖維棉,與電爐配套的溫控部分采用PID可調(diào)智能儀表控制,可編制多個程序段,控制產(chǎn)品的燒制過程,并具有過流、限流、過熱等保護(hù)功能。

  主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室,應(yīng)用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴(kuò)散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。

  立式管式爐使用必須按照操作規(guī)范進(jìn)行的同時,還應(yīng)注意以下幾點(diǎn):

  1、檢查氣路是否暢通或漏氣。先將管路連接無誤后通氧氣,氧氣進(jìn)入吸收瓶后產(chǎn)生正常氣泡,表明氣路正常,否則說明氣路有堵塞或瓷管有斷裂,應(yīng)處理正常。

  2、開啟電源,開啟控制器,先預(yù)置立式高溫管式爐的工作溫度為1250℃,然后調(diào)整電壓為60Ⅴ,升溫半小時,然后調(diào)整電壓至100Ⅴ,再升溫半小時,后調(diào)整電壓至150Ⅴ,升溫至溫度指示在1250℃。如不按照逐漸提高電壓并足夠時長的方式升溫,硅碳棒和瓷管受到急熱作用而容易斷裂,因而須嚴(yán)格按本規(guī)程操作,以免造成材料浪費(fèi)。

  3、在工作溫度保持在1250℃左右時即可進(jìn)入樣品分析;分析結(jié)束后調(diào)整電壓歸為零位,關(guān)閉控制器開關(guān),關(guān)閉電源,后關(guān)閉氧氣儀表閥門和氣瓶總閥。

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